1. Substrato cerâmico
O carboneto de silício possui uma ampla lacuna de energia, alta estabilidade térmica e boa condutividade térmica, podendo ser usado para produzir substrato para células fotovoltaicas.
2. Bandeja de wafer de cerâmica
As cerâmicas de alumina e carboneto de silício têm resistência a altas temperaturas e ao desgaste, podem ser usadas para produzir bandeja para transportar wafer para vários processos, como RTA (Rapid Thermal Annealing), PVD (Physical vapor Deposição), ICP (plasma acoplado indutivamente), CMP (polimento mecânico químico), para obter bom efeito de processamento e alta eficiência;
3. Mandril de vácuo cerâmico
As cerâmicas de alumina e carboneto de silício têm boa superfície de acabamento, com forte força de absorção quando o ar de bombeamento é aplicado, também mandril de vácuo de cerâmica têm resistência a altas temperaturas e amplamente utilizado para absorver e transferir wafer durante o processo de produção ;
4. Barco wafer e suporte para barco
Carbeto de silício e quartzo têm resistência a altas temperaturas e boa resistência ao desgaste, também a densidade é baixa e o peso é leve, eles são adequados para produzir barco de wafer e suporte de barco, para transportar wafer para tratamento de difusão e oxidação em um forno de difusão.
5. Tubo do forno de difusão
O tubo de quartzo tem resistência a altas temperaturas e excelente estabilidade térmica, pode ser usado como tubo de forno de difusão, para processo de difusão e oxidação de wafer de silício de células solares.
