alumina vacuum chuck
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Cerâmica porosa de alumina cerâmica microporosa do mandril de vácuo para aplicações de precisão

O mandril eletrostático a vácuo aproveita a força coulombiana gerada entre a peça de trabalho (o objeto em processamento) e o eletrodo com tensão aplicada para adsorver a peça de trabalho com segurança. Suas principais vantagens residem na distribuição uniforme da força de adsorção em toda a superfície do wafer, garantindo que não ocorra empenamento ou deformação. A força de adsorção constante e estável garante a precisão do processamento do wafer, ao mesmo tempo que minimiza a contaminação e os danos ao wafer, tornando-o adequado para ambientes de alto vácuo.

  • Marca:

    ATCERA
  • Item Nº.:

    AT-YHL-XP001
  • Materiais

    Alumina Ceramic
  • Formas

    Plate
  • Aplicativos

    Semiconductor , Photovoltaic Cell Industry
alumina vacuum chuck

Propriedades do Mandril de Vácuo de Alumina

1. Compatível para uso em ambientes atmosféricos e de vácuo.

2. Capaz de adsorver condutores, semicondutores, isolantes e materiais porosos.

3. Mecanismo simplificado de fixação e manuseio com baixo consumo de energia de adsorção eletrostática.

4. Distribuição uniforme da força de adsorção, eliminando o estresse localizado durante a adsorção.

5. Suporte suave para peças finas de grandes áreas, evitando arranhões e rugas durante a adsorção.

6. Ativação e desativação rápidas, sem potencial residual na parte traseira do objeto, evitando a atração da poeira circundante.

Ceramic Vacuum Chucks for Semiconductor Industry

Aplicações do Mandril de Vácuo Microporoso de Alumina

Ideal para laminação a vácuo na fabricação de painéis, embalagem de chips semicondutores, circuitos integrados microeletrônicos, fabricação de componentes ópticos de precisão e produção solar fotovoltaica.

Tabela de tamanhos do mandril de vácuo de alumina

Estamos comprometidos em fornecer mandril de vácuo de alumina ideal, adaptado às suas especificações exatas. Nossa equipe dedicada garante o cumprimento meticuloso de suas instruções, esforçando-se para superar as expectativas do cliente. Além disso, oferecemos flexibilidade de tamanhos personalizados para atender às suas necessidades exclusivas.

Forneça os cenários de aplicação específicos, as dimensões das bolas de cerâmica e os parâmetros de uso necessários se forem necessários requisitos de personalização.

Tolerâncias de especificação:

1. Faixa de tamanho: 05mm-0800mm

2. Tamanho do microporo: 20-60um

3. Porosidade: 30-50%

4. Precisão planar do mandril de vácuo: 6-8 polegadas <3um; 12 polegadas <5um

Requisitos de personalização:

1. Forneça dimensões, espessura e formato para personalizações de 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 polegadas e personalizações não padrão.

2. Escolha entre liga de alumínio, aço inoxidável, cerâmica, plástico e outros materiais para a base e a estrutura.

Mandril de vácuo microporoso de alumina quadrado
Item Nº. Comprimento (mm) Largura (mm) Espessura (mm) Materiais
AT-YHL-XP001 305 305 14 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa (marrom)
AT-YHL-XP002 305 305 14 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa (marrom)
AT-YHL-XP003 420 275 20 Liga de alumínio + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP004 450 200 20 SKD61 + cerâmica porosa
AT-YHL-XP005 520 520 20 Liga de alumínio + cerâmica microporosa

Mandril de vácuo microporoso de alumina redondo
Item Nº. Diâmetro (mm) Espessura (mm) Materiais
AT-YHL-XP006 174 10 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP007 220 35 Somente cerâmica de alumina
AT-YHL-XP008 230 16 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP009 239 12 Liga de alumínio + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP010 240 12 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP011 286 20 Somente cerâmica de alumina
AT-YHL-XP012 320 16 Aço inoxidável 316 + cerâmica microporosa
AT-YHL-XP013 325 12 Liga de alumínio + cerâmica microporosa

Dados técnicos de materiais de óxido de alumínio

Materiais 99% de alumina (AL2O3)
Condutividade Térmica 24,0w/m.k
Isolamento Elétrico ≤22,5KV, resistência à temperatura de até 1600â
Densidade 3,83g/cm3
Coeficiente de Expansão Térmica 7*10-6
Resistência à flexão (à temperatura ambiente) 310MPa
Resistência à compressão (à temperatura ambiente) 2200MPa
Dureza (Hv) 1650
Resistência à fratura 4,2MPa*m1/2

*Este gráfico ilustra as características padrão dos materiais de alumina comumente empregados na fabricação de nossos produtos e peças de alumina. Esteja ciente de que os atributos de produtos e peças de óxido de alumínio personalizados podem variar dependendo dos processos específicos envolvidos.

Instruções de uso

1. Não use pressão positiva para soprar. (Personalização disponível para requisitos de suspensão a ar.)
2. Manuseie com cuidado, evitando arranhar ou impactar a superfície cerâmica com objetos duros para evitar deformação, perda de precisão ou rachaduras.
3. Não aplique calor, pois a contração térmica da base da liga de alumínio pode causar rachaduras na cerâmica devido à pressão.
4. Mantenha-o livre de contaminantes como óleo, cola e tinta. Use em um ambiente livre de poeira e óleo para evitar o bloqueio de microporos.
5. Remova a poeira e sujeira da superfície usando fita adesiva sem resíduos ou jato de água de alta pressão.

Informações valiosas

Alumina Vacuum Chuck Packing

Embalagem do mandril a vácuo de alumina

Os mandris a vácuo de alumina são cuidadosamente embalados em recipientes apropriados para evitar qualquer dano potencial.

Vantagens de personalização
Vantagens de personalização

1. De acordo com o seu cenário de aplicação, analise as necessidades, escolha o material adequado e o plano de processamento.

2. Equipe profissional, resposta rápida, pode fornecer soluções e orçamentos em até 24 horas após a confirmação da demanda.

3. Mecanismo de cooperação empresarial flexível, suporta pelo menos uma peça de personalização de quantidade.

4. Forneça amostras e relatórios de teste rapidamente para confirmar se o produto atende às suas necessidades.

5. Forneça sugestões de uso e manutenção do produto para reduzir o custo de uso.

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Perguntas frequentes

Embora nosso foco principal seja em materiais cerâmicos avançados, como alumina, zircônia, carboneto de silício, nitreto de silício, nitreto de alumínio e cerâmica de quartzo, estamos sempre explorando novos materiais e tecnologias. Se você tiver uma necessidade específica de material, entre em contato conosco e faremos o possível para atender às suas necessidades ou encontrar parceiros adequados.

Absolutamente. Nossa equipe técnica possui profundo conhecimento de materiais cerâmicos e ampla experiência em design de produtos. Temos o prazer de fornecer conselhos sobre seleção de materiais e suporte no design de produtos para garantir o desempenho ideal de seus produtos.

Não temos um requisito de valor mínimo fixo para pedido. Sempre nos concentramos em atender às necessidades de nossos clientes e nos esforçamos para fornecer serviços e produtos de qualidade, independentemente do tamanho do pedido.

Além dos produtos cerâmicos, também oferecemos uma gama de serviços adicionais, incluindo, mas não se limitando a: serviços de processamento cerâmico customizados de acordo com suas necessidades, utilizando blanks ou blanks semiacabados produzidos por você; se você estiver interessado em serviços terceirizados de embalagem cerâmica e metalização, entre em contato conosco para mais discussões. Estamos sempre comprometidos em fornecer a você uma solução completa para atender às suas diversas necessidades.

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